【设计师的工艺库-28】PVD：现代绿色制造的必然发展方向

 

---

 

PVD

 

 PVD是英文Physical Vapor Deposition（物理气相沉积）的缩写，是指在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离，利用电场的加速作用，使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上。

 

PVD工艺对环境无不利影响，符合现代绿色制造的发展方向。当前PVD涂层技术已普遍应用于硬质合金立铣刀、钻头、阶梯钻、油孔钻、铰刀、丝锥、可转位铣刀片、车刀片、异形刀具、焊接刀具等的涂层处理。  

 

---

基本方法

 

真空蒸发

磁控溅射 

离子镀DLC

（空心阴极离子镀、热阴极离子镀

电弧离子镀、活性反应离子镀

射频离子镀、直流放电离子镀）

 

---

 

工艺流程

 

镀料的气化

▼

镀料原子、分子或离子的迁移

▼

镀料原子、分子或离子在基体上沉积

 

---

特点

 

有耐磨

耐腐饰

导电、绝缘

光导、压电

磁性、润滑

超导等特性的膜层

 

---

 

优缺点

 

工艺过程简单

高硬度

低摩擦系数

可镀膜层种类广泛 

无污染

耗材少

成膜均匀致密

与基体的结合力强

——

限制在真空环境

 

---

膜层种类 

 

单一金属膜（如铝、钛、锆、铬等)

氮化物膜（TiN、ZrN、CrN、TiAlN）

碳化物膜（TiC、TiCN)

氧化物膜（如TiO等)

 

 

---

应用领域

 

航空航天

电子光学、机械

建筑、轻工

冶金、材料等领域

 

---

 

PVD应用案例欣赏